파트국산화
- 관리자
- 16-01-11 12:08
- 6,565
Load Lock Sensor
본문
아래의 Wafer Sling Sensor는 MAIN 장비와는 독립적으로 작동하며 작동원리는 WAFER ARM이 ELEVATOR에 WAFER를
SLIDING된 것이므로 ELEVATOR가 MOVING되지 않도록 ELEVATOR MOTOR BRAKE를 작동하게 하여 WAFER BROKEN 방지하고
ELEVATOR MOTOR BRAKE ERROR 발생을 유도.
