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0100-35192 DPS MAINTENANCE CONTROL
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21-03-26
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0100-35217 TC AMP INTERLOCK BD
관리자
21-03-26
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49
0100-35250 CH IF DPS BD
관리자
21-03-26
4321
48
0100-35346 CH RELAY CONIACIOR BD
관리자
21-03-26
4466
47
0100-35393 WAFER ROTATION INTERFACE BOARD
관리자
21-03-26
4498
46
0100-35564 LAMP FAILURE DETECTION BOARD
관리자
21-03-26
4604
45
0100-37902 PRODUCER Safety interlock power board
관리자
21-03-26
4924
44
0100-38036 CHAMBER SET SERIPLEX BACKPLANE BD
관리자
21-03-26
4255
43
0100-70015 GATE VALVE INTERCONNECT BD
관리자
21-03-26
4245
42
0100-70034 EP VGA IO INTERCONNECT
관리자
21-03-26
4291
41
0100-75548 CHAMBER DIO BACKPLANE
관리자
21-03-26
4450
40
0010-76038 WAFER MAP LED BD
관리자
21-03-26
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