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System설계
  • 관리자
  • 16-01-11 10:19
  • 1,404

NOVELLUS Temperature & Humidity Monitoring System

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◆ Dome Water Detect Sensor : NOVELLUS SPEED(HDP Process) 장비 Ceramic Dome의 Cooling Water Leak 문제를 사전에 발견하여 추가적인 손상을 미연에 방지할 수 있는 시스템

 

- Cooling Water Leak에 의한 고가의 Dome 손상 예방

- RF Off 공정 Hold에 따른 Processing Wafer 손상 방지

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