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System설계
  • 관리자
  • 16-01-11 10:58
  • 4,888

Gate Valve Controller

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반도체 장비 chamber의 진공을 유지시켜주는 pump에 문제가 발생시 역트림 발생으로 chamber의 오염을 방지해주는 Auto Gate Valve System 제작 

Auto Gate Valve Controller