◈ Trouble 

Mattson PR Strip 장비, ASPEN-II Mapping 시스템은 Door의 Cylinder 움직임에 Potentiometer를 연결하고,

Potentiometer의 저항 값 변화로 Wafer Sensor의 위치를 결정하여 Wafer mapping을 수행한다.

Potentionmeter는 기계적인 접촉 위치에 따라서 저항 값을 변화시키는 device이므로 장기간 사용할 경우

접촉부분의 마모로 인하여 저항 값 오차 및 외부의 환경에 따라 저항 값 변화로 mapping error 요인이 되어 왔다.